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HITACHI CG 4100是一種掃描電子顯微鏡（SEM），設(shè)計(jì)用于提供非常小的物體和粒子的詳細(xì)3維圖像。它具有模塊化設(shè)計(jì),允許使用一系列不同的檢測(cè)器和級(jí)來(lái)定制配置?；緲?gòu)型包括一個(gè)帶電子槍的真空室和一個(gè)用于試樣安裝的舞臺(tái)。 分辨率：1.8 nm 產(chǎn)量：42片/小時(shí) MAM 時(shí)間：2.8 秒 級(jí)著陸精度：±1μm

Hitachi CG4000是一款臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）.它專(zhuān)為超精細(xì)半導(dǎo)體器件而設(shè)計(jì). 以下是一些主要規(guī)格和功能： 分辨率：1.8nm（加速電壓：800V） 重復(fù)性：±1% 或 0.3 nm （3 sigma）（采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓） 晶圓尺寸：300mm（200mm） 產(chǎn)量：36 片晶圓/小時(shí)（晶圓上有 20 個(gè)測(cè)量點(diǎn)） 加速電壓：300 - 1600 V

日立S-9300是一款高性能的掃描電子顯微鏡(SEM)，用于高精度成像和分析。具體介紹如下： 技術(shù)規(guī)格與特性： 日立S-9300能實(shí)現(xiàn)高達(dá)1000至300000倍的放大，提供高分辨率成像。 日立S-9300具有3納米的測(cè)量重復(fù)性和分辨率，適用于精確的樣品分析

HITACHI S-9260A是一種先進(jìn)的掃描電子顯微鏡（SEM），設(shè)計(jì)用于各種研究和印刷應(yīng)用的最佳性能。它具有的分辨率，非常適合成像微小的顆粒和結(jié)構(gòu)，如蛋白質(zhì)和病毒。SEM利用電子束生成放置在SEM腔內(nèi)的樣品圖像。電子與樣品表面相互作用，穿透并導(dǎo)致樣品發(fā)射二次電子，然后被檢測(cè)到。

性能規(guī)格： 圖像分辨率：3nm （30A） at 0.8kv 加速電壓 加速電壓范圍：0.5kv 至 1.3kv 工作距離：固定 放大倍率范圍：1 kx 至 300 kx 測(cè)量范圍：0.1 至 2.0 u 重現(xiàn)性：3 nM 測(cè)量模式：全功能、多功能 吞吐量：45片/小時(shí) SEM 圖像：1kx 至 300kx，保證重現(xiàn)性 40kx ti 200kx 載物臺(tái)位置控制：線(xiàn)性刻度反饋